Cyril Duquenne

Procédés plasmas pour le management thermique microélectronique

Du procédé à l'obtention de matériaux à haute performance. Paperback. Sprache: Französisch.

kartoniert , 212 Seiten

ISBN 6131528896

EAN 9786131528897

Veröffentlicht August 2010

Verlag/Hersteller Éditions universitaires européennes

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Beschreibung

Ces travaux sont axés sur la mise au point d'un procédé de synthése de couches minces à basse température d'un matériaux diélectrique à forte conductivité thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la présentation de l'état des connaissance dans les domaines des matériaux diélectriques cristallins ainsi que des procédés plasma et d'autre part sur la présentation des méthodes permettant une compréhension fine des propriétés intrinséque des matériaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitué des études menées lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'université de Nantes qui s'appuie principalement à liées les domaines des procédés et des matériaux afin d'en optimiser les propriétés.

Portrait

Cyril Duquenne, docteur en sciences des matériaux de l-université de Nantes, étude d-ingénieur en technologie plasma à l-université d-Orléans, ingénieur en process microélectronique.