Manfred Kasper

Mikrosystementwurf

Entwurf und Simulation von Mikrosystemen. Auflage 2000.

kartoniert , 400 Seiten

ISBN 3540664971

EAN 9783540664970

Veröffentlicht Oktober 1999

Verlag/Hersteller Springer Berlin Heidelberg

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Beschreibung

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.