Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen. 1. Auflage.
pdf eBook , 592 Seiten
ISBN 3486594117
EAN 9783486594119
Veröffentlicht Januar 2009
Verlag/Hersteller De Gruyter

Auch erhältlich als:

Taschenbuch
89,95
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Beschreibung

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Technik
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