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Walter Olbrich

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

kartoniert , 128 Seiten

ISBN 3540585117

EAN 9783540585114

Veröffentlicht Oktober 1994

Verlag/Hersteller Springer Berlin Heidelberg

Auch erhältlich als:

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€ 38,66

€ 79,99 inkl. MwSt.

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Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17

DE - 69121 Heidelberg

E-Mail: ProductSafety@springernature.com

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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

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