Frezowanie z du¿¿ pr¿dko¿ci¿ pojedynczej kryszta¿owej p¿ytki krzemowej

Obróbka monokrystalicznego krzemu jest trudn- i kosztown- spraw- ze wzgl-du na du-- twardo-- i naturaln- krucho-- materiäu. G-ównym problemem w konwencjonalnej obróbce kruchych materiäów, takich jak krzem, jest powstawanie p-kni-- i uszkodze- podpowierzchniowych. Ta ksi--ka przedstawia proces obróbki w trybie ci-gliwym opracowany dla krzemu, wykorzystuj-cy frezowanie z du-- pr-dko-ci- przy u-yciu narz-dzi pokrytych diamentem. Stwierdzono, -e opracowana metoda zapewnia integralno-- obrabianej powierzchni i dobre wyko-czenie powierzchni. W ksi--ce omówiono wp-yw parametrów skrawania, takich jak pr-dko-- skrawania, posuw i g--boko-- skrawania, na obróbk- w trybie ci-gliwym. Do opracowania modelu regresji -redniej chropowato-ci powierzchni zastosowano trójpoziomowy, pe-ny czynnikowy projekt eksperymentów z wykorzystaniem metodologii powierzchni odpowiedzi (RSM). Opracowany model zostä przetestowany przy u-yciu analizy wariancji (ANOVA) przy 95% poziomie ufno-ci. Najlepsza uzyskana -rednia chropowato-- powierzchni wynosi-a 0,2 -m, co mo-e zmniejszy- potrzeb- dalszych operacji szlifowania i zgrubnego polerowania, aby zaoszcz-dzi- koszty i skróci- czas cyklu obróbki krzemu.

A.K.M. Nurul Amin, Mohd Dali Bin Mohd Ismail y Muhammad Iqbal Bin Musa El Dr. Amin es profesor titular en la Universidad Islámica Internacional de Malasia (IIUM). Sus áreas de investigación incluyen vibración / vibración en mecanizado, mecanizado en caliente y mecanizado de alta velocidad de metales, aleaciones y cerámicas, el Sr. Dali está haciendo su Maestría en Australia y el Sr. Iqbal está