Dietrich Widmann>, Hans Friedrich>, Hermann Mader>

Technologie hochintegrierter Schaltungen

2. Auflage 1996.

gebunden , 392 Seiten

ISBN 3540593578

EAN 9783540593577

Veröffentlicht Mai 1996

Verlag/Hersteller Springer Berlin Heidelberg

Auch erhältlich als:

pdf eBook

€ 89,99

€ 159,99 inkl. MwSt.

Auf die Wunschliste

Weitere interessante Themen

Beschreibung

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Prozeßarchitekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.