Technologie hochintegrierter Schaltungen - Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich

Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich

Technologie hochintegrierter Schaltungen

Auflage 1988. 320 S. Dateigröße in MByte: 41.
pdf eBook , 320 Seiten
ISBN 3642970591
EAN 9783642970597
Veröffentlicht März 2013
Verlag/Hersteller Springer

Auch erhältlich als:

Taschenbuch
€ 114,99
€ 36,99 inkl. MwSt.
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Beschreibung

Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben.

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