MIKRO- I NANOELEKTROMECHANIKA

W nowoczesnej mikroelektronice najbardziej intensywnie rozwijaj-cym si- sektorem s- systemy mikroelektromechaniczne, MEMS. Kierunek ten oparty jest na najnowszych osi-gni-ciach technologii mikroelektronicznych i ma na celu stworzenie mikromechanizmów wykonawczych, które maj- wcze-niej nieosi-galne mo-liwo-ci funkcjonalne. W ostatnich latach MEMS wywar- znacz-cy wp-yw na codzienne -ycie dziesi-tków milionów ludzi, poprzez stworzenie nowych rynków dla mobilnej elektroniki, o nieznanych wcze-niej w-äciwo-ciach konsumpcyjnych i bran-ach - motoryzacyjnej, elektronicznej, lotniczej i kosmicznej, medycznej, itp. Jednak do tej pory wi-kszo-- specjalistów, twórców sprz-tu elektronicznego i u-ytkowników zaawansowanych technologicznie urz-dze- nie ma wystarczaj-cych informacji na temat nowego kierunku rozwoju mikroelektroniki. W ksi--ce omówiono obecny stan tego kierunku mikroelektroniki, szeroki zakres jej praktycznych mo-liwo-ci i perspektywy dalszego rozwoju. Uwzgl-dniono fizyczne zasady funkcjonowania MEMS i ich charakterystyk-. Ksi--ka przeznaczona jest dla specjalistów z zakresu mikroelektroniki, informatyki oraz studentów uczelni technicznych.

Kostsov Eduard Gennadievich, PhD - M.D., Jefe del Laboratorio de la IAE SB RAS, Novosibirsk. E.G. Kostsov es especialista en el campo de la electrónica física, la física de los dieléctricos, los segmentados y los elementos base de la microelectrónica, la micro-nanoelectromecánica. Es autor de más de 250 obras científicas, dos monografías, 30 inventos y patentes internacionales.