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Lorsqu'un faisceau d'ions d-énergie cinétique de quelques keV interagit avec une cible solide, une pulvérisation se produit et des particules de différents types (e-, espèces neutres ou ioniques, agrégats-) sont éjectées de la cible. Ce type d-interaction provoque aussi l-éjection de particules dans des états électroniquement excités et des radiations électromagnétiques peuvent être émises. Le présent travail porte sur l-étude expérimentale des produits de pulvérisations de cibles solides soumis à un faisceau d-ions Kr+ d-énergie de 5 keV.
Ait El Fqih Si MohammedEnseignant-chercheur,Département Génie MécaniqueEcole Nationale Supérieure d'Arts et Métiers de Casablanca (ENSAM),Université Hassan 2, Mohammedia - Casablanca.