Blick ins Buch Vakuumbeschichtung -

Vakuumbeschichtung

Verfahren und Anlagen. Softcover reprint of the original 1st edition 1995.
kartoniert , 500 Seiten
ISBN 3642633986
EAN 9783642633980
Veröffentlicht Oktober 2012
Verlag/Hersteller Springer Berlin Heidelberg

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Beschreibung

Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).

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