Blick ins Buch Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren - Walter Olbrich

Walter Olbrich

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

kartoniert , 128 Seiten
ISBN 3540585117
EAN 9783540585114
Veröffentlicht Oktober 1994
Verlag/Hersteller Springer Berlin Heidelberg

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